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在有机废气的处理过程当中有机污染物的分解以及各种无机小分子的裂解是非常重要的意义，而光氧催化设备可以有效地分解有机物，尤其是对于有机溶剂，像食品厂、化工厂等这些场所所产生的有机溶剂，是利用光氧催化设备可以得到完美净化的。
光氧催化设备利用紫外线光束进行净化杀菌效果，但是对于颗粒性物质的清楚效果比较差，紫外线辐射易对人的眼角膜、皮肤等造成伤害，不能人机共存，在欧美国家，紫外线净化是已经被市场淘汰的技术。臭氧技术是利用臭氧的活性，能够有效杀灭细菌、微生物、霉素等，但不能清除PM2.5等颗粒物，另外，臭氧超标是隐形杀手，臭氧有腐蚀性，还可能造成神经中毒、导致哮喘、影响肺功能等。
　　 光催化技术能够除尘、杀菌，去除甲醛等有机污染，不能消除异味，有腐蚀性，需要有紫外线的照射才能发生作用，产品寿命短，紫外光对人体有害，不宜人机共存。 在环境污染物的治理中，曾涌现出多种高新技术，如：超声波、超临界流体、等离子体、中空纤维分离技术、高梯度磁分离技术、反渗透技术、光催化氧化法、催化湿式氧化技术等，但大多数在研究阶段，少数达到了工业水平。
　　 在众多环境治理新技术中，等离子体净化技术的应用相对成熟，可以作为一种高效率、低能耗、使用范围广、处理量大、操作简单的环保新技术来处理有毒及难降解物质，等离子体空气净化技术便是由此而来。
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