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洁净厂房内特种气体和化学品泄漏探测系统

洁净厂房由于使用了多种易燃、易爆、毒性和腐蚀性气体以及易燃、易爆、腐蚀性溶剂．其中任何一种气体和溶剂泄漏都会带来很大的火灾危害、设备毁坏或人员伤害，因此在各易燃、易爆和腐蚀性特种气体间、气瓶柜内部、溶剂间、溶剂输送柜内部、SUBFAB、阀门箱和生产区均应按输送介质以及介质危险性的不同安装不同类型、不同灵敏度的探测器，常用的探测器有电化学探测器、真空泵抽气式探测器、UV／IR探测器等。