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MT系列混合配比仪

发布时间:2018年08月16日

详细说明

产品概述;
MT系列混合配比仪用于对多路气体进行均匀混合配比,精确控制各组分气体之间的比例关系,然后实时在线输出到终端设备中.
仪器具有高效,精确,稳定,调节范围广,响应速度快,自动化程度高,可扩展性,操作简便等特点.
 
性能特点;
*高工作压力3MPA                                 使用范围广
密封更可靠,不锈钢卡套链接               气体混合同比例可按要求调节
寿命更长                                                   使用气体种类多(可达60多种)
国际通用链接方式,易安装                    硬件316L不锈钢材质,BA级洁净管道
结构合理                                  体积小巧
 
 
 
应用领域
半导体行业  特种材料冶炼  医学行业  环保行业 食品保鲜行业  微电子工艺设备 精密浓度传感器工艺 化学化工等等…
基本参数
    先进的结构,细节的优化。保证仪器准确,稳定,可靠
功能 多通道气体动态配气仪
基本型号 MT系列
配比范围 1ppm以上,根据要求定制
精度(%) ±1
控制阀动作形式 长闭式
被稀释气体 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各种带酸性,碱性气体.
配气通道 二通道,三通道,四通道等,******可达十几种气体配比
载气 空气,氮气,氩气等气体
配气流量 5SCCM-30SLM范围可选
线性(%F.S) ±0.5
重复精度(%F.S) ±0.2
响应时间(sec) ≤2  
设备输出信号 RS232或RS485
电器接头 DB15

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