公司名称：东莞市宏诚光学制品有限公司

产品名:OTFC- -1550DBI 型式:1500DBI
1.产品参数:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF 离子源
机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵)
2.性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度*高:350
3.工作条件:约5500mn(W) X 7200mm()X设备尺寸3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,电源约120KVA 水流量180 升/分以上 空气压力0. 5MPa以上
重量约11000k