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精密直线气浮平台

发布时间:11月09日

详细说明

精密度高,可定制重复定位精度0.1um或更高精度的精密平台
* 速度高,*高速度可达到7m/s,极大提高生产效率
* 洁净度高,平台运动无需丝杠、减速器等中间部件,无需采用相关维护保养措施,适用高洁净要求环境
* 高刚性,加速性能好
* 动态响应快,执行机构与平台之间无非线性机械部件,可获得极高动态响应
* 平台零件少,组装调试简单,零维护
* 平台运动平稳,运动速度从1um/s到7m/s均能适应,推力范围从几牛顿到几万牛顿可选


超精密运动平台主要应用于各种超精密、高效率要求的加工场合,如半导体加工设备、激光加工设备、电子加工设备、精密机床设备、物流设备、机器人设备、分子筛等

运动行程:50~500mm可选择定制
运动精度:0.1um~10um可选择定制

音圈直线电机气浮平台是采用气浮导轨,并可以稳定地高精度地运行, 这种悬浮是轴承腔内导入的压力空气来实现的,泄压的缝隙极小,保证了转动轴的悬浮。高速度,高精确度;无摩擦力;无磨损;不需要润滑油;有卓越的速度控制性能;无噪音。正因为气浮转台有这么多的优点,现在越来越多高精度的应用领域用空气轴承来取代普通的机械轴承。
产品特点
1) 结构简单(精巧)2) 回转轻巧3) 运转平滑4) 精密度高
5) 摩擦损耗小6) 无污染7) 寿命长8) 清洁
应用领域
1) 精密计量:圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量
2) 空间模拟装置3) 三坐标仪4) 低速伺服转台5) 精密仪器轴承:圆度仪、摩擦力矩仪等6) 高速砂轮轴轴承7) 精密机床轴承8) 光学测试


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