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微波等离子体化学气相沉积微波气相沉积3KW6KW微波等离子电源可调
PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等.

6KW 3KW 微波等离子体电源是根据微波等离子体气相沉积实际生产操作中的实际要求进行订制设计生产，符合产品生长要求，调节精度要求，欢迎浅谈咨询订购测试。