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石英管式微波等离子体装置pcb仿制与开发

发布时间:08月23日

详细说明

详细介绍
(一)主要配置:
1、微波频率2.45GHz;足额功率0~500W(基本型)或0~1000W(升级型)连续可调,阳极高压、阳极电流足额显示;
2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升级型)石英管真空室,有一个观察窗和一个诊断窗;
3、石英管采用制冷循环水冷却,保证装置安全运行。
4、配有真空测量及控制阀门系统;3路工作气体流量控制;
(二)典型实验:
1、等离子体化学气相沉积。A(气)+B(气)→C(固)+D(气)。
反应气体A、B被激发为等离子状态,其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上,可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜、碳纳米材料等。
2、等离子体表面刻蚀。A(气)+B(固)→C(气)。反应气体A被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物C,可用于集成电路的刻蚀实验。
3、等离子体催化反应。等离子体中具有丰富的活性成分,如紫外和可见光子、电子、离子、自由基,高反应性的中性成分如活性原子、受激原子态,从而可以引发在常规化学中不能或很难实现的化学反应。
4、等离子体表面改性。A(气)+B(固)→C(固)。反应气体A被激发为等离子体状态,与固体B表面发生反应,生成新的化合物,从而达到改变B物质表面性质的目的。广泛用于高分子材料、金属材料、生物医用材料的表面改性。
(三)产品特色:
1、  微波系统设计严谨,加工精良,运行时微波准零泄漏,确保使用者人身安全;
2、  微波功率充足,等离子效应强劲,作用效果良好;阳极电压电流足额显示。
3、  样品台升降架精巧豪华,方便调谐和样品取放;
4、  样品台可加热或冷却,有利于控制反应过程。
5、制冷循环水系统践行环保理念,避免用长流水费水扰民。
6、循环水机可联机使用、可独立使用,提高了投资效益;
7、缺水时启动高压或正常工作时断水,系统会断电并报警;
8、真空泵排气口接有油雾过滤器,保护环境;
9、电控系统功能完善、操作灵便、指示醒目;
10、整机造型典雅大气。
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