公司名称：青岛泰斯迈仪器设备有限公司
刻蚀机 发布时间：2021年09月22日
详细说明
用于研究开发的高密度等离子蚀刻装置NE-550 EX，以有磁场ICP（ISM＝Inductivery Super Magnetron）方式的高密度等离子蚀刻装置，采用单叶式的标准装备了LL室，实现了紧凑、低价格。
青岛泰斯迈仪器设备有限公司
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